Komponent | 99,9999 % | Enhet |
Syre (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Kväve | ≤0,1 | ppmV |
Väte | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klorsilaner | ≤0,1 | ppmV |
Disiloxan | ≤0,1 | ppmV |
Disilan | ≤0,1 | ppmV |
Fuktighet (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silan är en förening av kisel och väte. Det är en allmän term för en serie föreningar, inklusive monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) och vissa högre kisel-väteföreningar. Bland dem är monosilan den vanligaste, ibland kallad silan förkortat. Silan är en färglös gas med en äcklig lukt av vitlök. Löslig i vatten, nästan olöslig i etanol, eter, bensen, kloroform, kiselkloroform och kiseltetraklorid. Silaners kemiska egenskaper är mycket mer aktiva än alkaners och oxideras lätt. Spontanantändning kan ske vid kontakt med luft. Den reagerar inte med kväve under 25°C och reagerar inte med kolväteföreningar vid rumstemperatur. Brand och explosion av silan är resultatet av reaktion med syre. Silan är extremt känslig för syre och luft. Silan med en viss koncentration reagerar också explosivt med syre vid en temperatur på -180°C. Silan har blivit den viktigaste specialgasen som används i halvledarmikroelektronikprocesser och används vid framställning av olika mikroelektroniska filmer, inklusive enkristallfilmer, mikrokristallina, polykristallina, kiseloxid, kiselnitrid och metallsilicider. De mikroelektroniska tillämpningarna av silan utvecklas fortfarande på djupet: lågtemperaturepitaxi, selektiv epitaxi och heteroepitaxial epitaxi. Inte bara för kiselkomponenter och integrerade kiselkretsar, utan även för sammansatta halvledarkomponenter (galliumarsenid, kiselkarbid, etc.). Det har också tillämpningar vid framställning av supergitterkvantbrunnsmaterial. Man kan säga att silan används i nästan alla avancerade integrerade kretsproduktionslinjer i modern tid. Användningen av silan som en kiselinnehållande film och beläggning har expanderat från den traditionella mikroelektronikindustrin till olika områden som stål, maskiner, kemikalier och optik. En annan potentiell tillämpning av silan är tillverkning av högpresterande keramiska motordelar, särskilt användningen av silan för att tillverka silicid (Si3N4, SiC, etc.) mikropulverteknik har väckt mer och mer uppmärksamhet.
①Elektronisk:
Silan appliceras på polykristallina kisellager på kiselskivor vid tillverkning av halvledare och tätningsmedel.
②Solenergi:
Silan används vid tillverkning av solcellsmoduler.
③Industriellt:
Det används i energibesparande grönt glas och appliceras i tunnfilmsprocessen för ångavsättning.
Produkt | Silan SiH4 vätska | |
Paketstorlek | 47 liters cylinder | Y-440L |
Fyllningsvikt/cylinder | 10 kg | 125 kg |
Antal lastad i 20'-container | 250 cylindrar | 8 cylindrar |
Total nettovikt | 2,5 ton | 1 ton |
Cylinderns egenvikt | 52 kg | 680 kg |
Ventil | CGA632/DISS632 |
①Mer än tio år på marknaden;
②ISO-certifikattillverkare;
③Snabb leverans;
④Stabil råmaterialkälla;
⑤Online-analyssystem för kvalitetskontroll i varje steg;
⑥Höga krav och noggrann process för hantering av cylindern före fyllning;
⑦Renhet: hög renhet elektronisk kvalitet;
⑧Användning: solcellsmaterial; tillverkning av högrent polykisel, kiseloxid och optisk fiber; tillverkning av färgat glas.