Silan (SiH4)

Tekniska parametrar

Silan är en förening av kisel och väte. Det är en allmän term för en rad föreningar, inklusive monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) och vissa högre nivåer av kisel-väteföreningar. Bland dem är monosilan den vanligaste, ibland kallad silan för kort. Silan är en färglös gas med en äcklig lukt av vitlök. Löslig i vatten, nästan olöslig i etanol, eter, bensen, kloroform, kiselkloroform och kiseltetraklorid. De kemiska egenskaperna hos silaner är mycket mer aktiva än alkaner och oxideras lätt. Spontan förbränning kan uppstå vid kontakt med luft. Det reagerar inte med kväve under 25°C och reagerar inte med kolväteföreningar vid rumstemperatur. Brand och explosion av silan är resultatet av reaktion med syre. Silan är extremt känsligt för syre och luft. Silan med en viss koncentration kommer också att reagera explosivt med syre vid en temperatur på -180°C. Silan har blivit den viktigaste specialgasen som används i halvledarmikroelektronikprocesser och används vid framställning av olika mikroelektroniska filmer, inklusive enkristallfilmer, mikrokristallina, polykristallina, kiseloxid, kiselnitrid och metallsilicider. De mikroelektroniska tillämpningarna av silan utvecklas fortfarande på djupet: lågtemperaturepitaxi, selektiv epitaxi och heteroepitaxiell epitaxi. Inte bara för kiselenheter och integrerade kretsar av kisel, utan också för sammansatta halvledarenheter (galliumarsenid, kiselkarbid, etc.). Den har också tillämpningar vid framställning av supergitterkvantbrunnsmaterial. Man kan säga att silan används i nästan alla avancerade integrerade kretsproduktionslinjer i modern tid. Användningen av silan som en kiselhaltig film och beläggning har expanderat från den traditionella mikroelektronikindustrin till olika områden som stål, maskiner, kemikalier och optik. En annan potentiell tillämpning av silan är tillverkning av högpresterande keramiska motordelar, speciellt användningen av silan för att tillverka silicid (Si3N4, SiC, etc.) mikropulverteknik har väckt mer och mer uppmärksamhet.

Ansökan:

①Elektronisk:

Silan appliceras på polykristallina kiselskikt på kiselwafers vid tillverkning av halvledare och tätningsmedel.

②Solar:

Silan används vid tillverkning av solcellsmoduler.

③Industri:

Det används i energisnålt grönt glas och appliceras på tunnfilmsprocess med ångavsättning.

Vanligt paket:

Fördel:

① Mer än tio år på marknaden;

②ISO-certifikattillverkare;

③Snabb leverans;

④ Stabil råvarukälla;

⑤On-line analyssystem för kvalitetskontroll i varje steg;

⑥Höga krav och noggrann process för hantering av cylindern före fyllning;

⑦Renhet: elektronisk kvalitet med hög renhet;

⑧Användning: solcellsmaterial; framställning av högrent polykisel, kiseloxid och optisk fiber; tillverkning av färgat glas.