Silanär en förening av kisel och väte och är en allmän term för en serie föreningar. Silan inkluderar huvudsakligen monosilan (SIH4), disilan (SI2H6) och några kiselföreningar på högre nivå, med den allmänna formeln SinH2N+2. Men i den faktiska produktionen hänvisar vi i allmänhet till monosilan (kemisk formel SIH4) som "silan".

Elektronisk klasssilendaserhålls huvudsakligen genom olika reaktionsdestillation och rening av kiselpulver, väte, kiseltetraklorid, katalysator etc. Silan med en renhet av 3N till 4N kallas industriklass och silan med en renhet av mer än 6N kallas elektronisk klassgas.

Som en gaskälla för att bära kiselkomponenter,silendashar blivit en viktig specialgas som inte kan ersättas av många andra kiselkällor på grund av dess höga renhet och förmåga att uppnå fin kontroll. Monosilan genererar kristallint kisel genom pyrolysreaktion, som för närvarande är en av metoderna för storskalig produktion av granulärt monokristallint kisel och polykristallint kisel i världen.

Silkesegenskaper

Silan (SIH4)är en färglös gas som reagerar med luft och orsakar kvävning. Synonymen är kiselhydrid. Den kemiska formeln för silan är SIH4 och dess innehåll är så högt som 99,99%. Vid rumstemperatur och tryck är Silane en dåligt luktande giftig gas. Smältpunkten för silan är -185 ℃ och kokpunkten är -112 ℃. Vid rumstemperatur är silan stabil, men när den värms upp till 400 ℃ kommer den helt att sönderdelas till gasformigt kisel och väte. Silan är brandfarligt och explosivt, och det kommer att brinna explosivt i luft eller halogengas.

Applikationsfält

Silane har ett brett utbud av användningsområden. Förutom att det är det mest effektiva sättet att fästa kiselmolekyler på cellens yta under produktionen av solceller, används det också allmänt i tillverkningsanläggningar som halvledare, plattpanelskärmar och belagt glas.

Silanär kiselkällan för kemiska ångavsättningsprocesser såsom enkelkristallsilikon, polykristallint kiselepitaxiala wafers, kiseldioxid, kiselnitrid och fosfosilikatglas i halvledarindustrin, och används allmänt i produktionen och utvecklingen av solarceller, kiselkopieringstillverkare, fotobelämningsmässiga fos- och specialglas.

Under de senaste åren dyker upp högteknologiska tillämpningar av silaner fortfarande, inklusive tillverkning av avancerad keramik, sammansatta material, funktionella material, biomaterial, högenergimaterial etc. och blir grunden för många nya tekniker, nya material och nya enheter.