Vad är koltetrafluorid? Vad är nyttan?

Vad ärkoltetrafluorid? Vad är nyttan?

Koltetrafluorid, även känd som tetrafluormetan, betraktas som en oorganisk förening. Det används i plasmaetsningsprocessen för olika integrerade kretsar och används även som lasergas och köldmedium. Det är relativt stabilt under normal temperatur och tryck, men det är nödvändigt att undvika kontakt med starka oxidanter, brandfarliga eller brännbara material. Koltetrafluorid är en icke brännbar gas. Om den stöter på hög värme kommer det att göra att det inre trycket i behållaren ökar, och det finns risk för sprickbildning och explosion. Vanligtvis kan det endast interagera med flytande ammoniak-natriummetallreagens vid rumstemperatur.

Koltetrafluoridär för närvarande den största plasmaetsningsgasen som används inom mikroelektronikindustrin. Det kan användas i stor utsträckning vid etsning av kisel, kiseldioxid, fosfosilikatglas och andra tunnfilmsmaterial, rengöring av ytan på elektroniska enheter, solcellsproduktion, laserteknik, gasfasisolering, lågtemperaturkylning, läckagedetekteringsmedel, och tvättmedel i produktion av tryckta kretsar har ett stort antal tillämpningar.