Vad är koltetrafluorid? Vad är användningen?

Vad ärkoltetrafluoridVad är meningen?

Koltetrafluorid, även känt som tetrafluormetan, betraktas som en oorganisk förening. Den används i plasmaetsningsprocessen för olika integrerade kretsar, och används även som lasergas och köldmedium. Den är relativt stabil vid normal temperatur och tryck, men det är nödvändigt att undvika kontakt med starka oxidanter, brandfarliga eller brännbara material. Koltetrafluorid är en icke-brännbar gas. Om den utsätts för hög värme kommer den att öka behållarens inre tryck, och det finns risk för sprickbildning och explosion. Vanligtvis kan den endast interagera med flytande ammoniak-natriummetallreagens vid rumstemperatur.

Koltetrafluoridär för närvarande den största plasmaetsningsgasen som används inom mikroelektronikindustrin. Den kan användas i stor utsträckning vid etsning av kisel, kiseldioxid, fosfosilikatglas och andra tunnfilmsmaterial, rengöring av ytor på elektroniska apparater, solcellsproduktion, laserteknik, gasfasisolering, lågtemperaturkylning, läckagedetekteringsmedel och rengöringsmedel vid tillverkning av tryckta kretsar har ett stort antal tillämpningar.