Vad ärkoltetrafluorid? Vad är användningen?
Koltetrafluorid, även känd som tetrafluormetan, betraktas som en oorganisk förening. Det används i plasma -etsningsprocessen för olika integrerade kretsar och används också som lasergas och köldmedium. Det är relativt stabilt under normal temperatur och tryck, men det är nödvändigt att undvika kontakt med starka oxidanter, brandfarliga eller brännbara material. Koltetrafluorid är en icke-brännbar gas. Om den möter hög värme kommer det att få behållarens inre tryck att öka, och det finns en fara för sprickor och explosion. Vanligtvis kan det bara interagera med flytande ammoniak-kodiummetallreagens vid rumstemperatur.
Koltetrafluoridär för närvarande den största plasmasetadgas som används i mikroelektronikindustrin. Det kan användas i stor utsträckning vid etsning av kisel, kiseldioxid, fosfosilikatglas och andra tunnfilmmaterial, rengöring av ytan på elektroniska anordningar, solcellsproduktion, laserteknologi, gasfasisolering, lågtemperaturkylning, läckningsdetekteringsmedel och detergier i tryckt kretsproduktion har ett stort antal tillämpningar.
Posttid: nov-01-2021