Elektroniskspecialgaserär en viktig gren av specialgaser. De tränger igenom nästan varje länk av halvledarproduktion och är oundgängliga råvaror för produktion av elektroniska industrier som ultravagningsskaliga integrerade kretsar, plattpanelens skärmanordningar och solceller.

Vid halvledarteknologi används fluorinnehållande gaser i stor utsträckning. För närvarande, på den globala elektroniska gasmarknaden, står fluorinnehållande elektroniska gaser för cirka 30% av det totala. Fluorinnehållande elektroniska gaser är en viktig del av speciella elektroniska gaser inom området elektroniskt informationsmaterial. De används främst som rengöringsmedel och etsningsmedel, och kan också användas som dopanter, filmbildande material etc. I den här artikeln kommer författaren att ta dig att förstå de vanliga fluorinnehållande gaserna.

Följande används vanligtvis fluorinnehållande gaser

Kväve trifluorid (NF3): En gas som används för rengöring och avlägsnande av avsättningar, vanligtvis används för rengöringskamrar och utrustningytor.

Svavelhexafluorid (SF6): Ett fluorinerande medel som används i oxidavlagringsprocesser och som en isolerande gas för att fylla isolerande media.

Vätefluorid (HF): Används för att avlägsna oxider från kiselytan och som en ets för etsning av kisel och andra material.

Kvävefluorid (NF): Används för att etsa material såsom kiselnitrid (sin) och aluminiumnitrid (ALN).

Trifluormetan (CHF3) ochtetrafluorometan (CF4): Används för att etsa fluoridmaterial såsom kiselfluorid och aluminiumfluorid.

Fluorinnehållande gaser har emellertid vissa faror, inklusive toxicitet, korrosivitet och brandfarlighet.

Giftighet

Vissa fluorinnehållande gaser är giftiga, såsom vätefluorid (HF), vars ånga är mycket irriterande för huden och luftvägarna och skadligt för människors hälsa.

Försämring

Vätefluorid och vissa fluorider är mycket frätande och kan orsaka allvarliga skador på huden, ögonen och luftvägarna.

Brandfarlighet

Vissa fluorider är brandfarliga och reagerar med syre eller vatten i luften för att frigöra intensiv värme och giftiga gaser, vilket kan orsaka eld eller explosion.

Högtrycksrisk

Vissa fluorerade gaser är explosiva under högt tryck och kräver särskild vård när de används och lagras.

Inverkan på miljön

Fluorinnehållande gaser har höga atmosfäriska livslängder och GWP-värden, som har en destruktiv effekt på det atmosfäriska ozonskiktet och kan orsaka global uppvärmning och miljöföroreningar.

Tillämpningen av gaser i tillväxtfält som elektronik fortsätter att fördjupa, vilket ger en stor mängd ny efterfrågan på industriella gaser. Baserat på den stora mängden ny produktionskapacitet för stora elektroniska komponenter såsom halvledare och visningspaneler i Kina under de närmaste åren, liksom den starka efterfrågan på importsubstitution av elektroniska kemiska material, kommer den inhemska elektroniska gasindustrin att inleda en hög tillväxttakt.