Elektroniskspeciella gaserär en viktig gren av specialgaser. De penetrerar nästan alla länkar av halvledarproduktion och är oumbärliga råmaterial för produktion av elektroniska industrier som ultrastorskaliga integrerade kretsar, platta bildskärmsenheter och solceller.

Inom halvledarteknik används fluorhaltiga gaser i stor utsträckning. För närvarande, på den globala marknaden för elektronisk gas, står fluorhaltiga elektroniska gaser för cirka 30 % av den totala mängden. Fluorinnehållande elektroniska gaser är en viktig komponent i speciella elektroniska gaser inom området elektroniskt informationsmaterial. De används främst som rengöringsmedel och etsningsmedel, och kan även användas som dopningsmedel, filmbildande material etc. I den här artikeln tar författaren dig att förstå de vanliga fluorhaltiga gaserna.

Följande är vanliga gaser som innehåller fluor

Kvävetrifluorid (NF3): En gas som används för att rengöra och ta bort avlagringar, vanligtvis används för att rengöra reaktionskammare och utrustningsytor.

Svavelhexafluorid (SF6): Ett fluoreringsmedel som används i oxidavsättningsprocesser och som en isoleringsgas för att fylla isoleringsmedia.

Vätefluorid (HF): Används för att avlägsna oxider från kiselytan och som etsmedel för etsning av kisel och andra material.

Kvävefluorid (NF): Används för att etsa material som kiselnitrid (SiN) och aluminiumnitrid (AlN).

Trifluormetan (CHF3) ochtetrafluormetan (CF4): Används för att etsa fluoridmaterial som kiselfluorid och aluminiumfluorid.

Fluorinnehållande gaser har dock vissa faror, inklusive toxicitet, frätande egenskaper och brandfarlighet.

Giftighet

Vissa fluorhaltiga gaser är giftiga, såsom vätefluorid (HF), vars ånga är mycket irriterande för huden och luftvägarna och skadlig för människors hälsa.

Frätande förmåga

Vätefluorid och vissa fluorider är mycket frätande och kan orsaka allvarliga skador på hud, ögon och luftvägar.

Brandfarlighet

Vissa fluorider är brandfarliga och reagerar med syre eller vatten i luften för att frigöra intensiv värme och giftiga gaser, som kan orsaka brand eller explosion.

Risk för högt tryck

Vissa fluorerade gaser är explosiva under högt tryck och kräver särskild försiktighet när de används och förvaras.

Påverkan på miljön

Fluorhaltiga gaser har höga livslängder i atmosfären och GWP-värden, vilket har en destruktiv effekt på det atmosfäriska ozonskiktet och kan orsaka global uppvärmning och miljöföroreningar.

Användningen av gaser inom framväxande områden som elektronik fortsätter att fördjupas, vilket medför en stor mängd ny efterfrågan på industrigaser. Baserat på den stora mängden ny produktionskapacitet för stora elektroniska komponenter som halvledare och bildskärmspaneler i Kina under de närmaste åren, samt den starka efterfrågan på importsubstitution av elektroniska kemiska material, kommer den inhemska elektroniska gasindustrin att inleda en hög tillväxttakt.