Elektroniskspecialgaserär en viktig gren av specialgaser. De penetrerar nästan varje led i halvledarproduktionen och är oumbärliga råvaror för produktion inom elektronikindustrier såsom ultrastorskaliga integrerade kretsar, platta bildskärmar och solceller.

Inom halvledarteknik används fluorhaltiga gaser i stor utsträckning. För närvarande står fluorhaltiga elektroniska gaser för cirka 30 % av den totala mängden på den globala marknaden för elektronisk gas. Fluorhaltiga elektroniska gaser är en viktig komponent i speciella elektroniska gaser inom området elektroniska informationsmaterial. De används huvudsakligen som rengöringsmedel och etsmedel, och kan även användas som dopmedel, filmbildande material etc. I den här artikeln kommer författaren att ta dig till en förståelse för de vanligaste fluorhaltiga gaserna.

Följande är vanligt förekommande fluorhaltiga gaser

Kvävetrifluorid (NF3): En gas som används för rengöring och borttagning av avlagringar, vanligtvis för rengöring av reaktionskamrar och utrustningsytor.

Svavelhexafluorid (SF6)Ett fluoreringsmedel som används i oxidavsättningsprocesser och som isoleringsgas för att fylla isoleringsmedia.

Vätefluorid (HF): Används för att avlägsna oxider från kiselytan och som etsmedel för etsning av kisel och andra material.

Kvävefluorid (NF): Används för att etsa material som kiselnitrid (SiN) och aluminiumnitrid (AlN).

Trifluormetan (CHF3) ochtetrafluormetan (CF4)Används för att etsa fluoridmaterial såsom kiselfluorid och aluminiumfluorid.

Fluorhaltiga gaser medför dock vissa faror, inklusive toxicitet, korrosivitet och brandfarlighet.

Giftighet

Vissa fluorhaltiga gaser är giftiga, såsom vätefluorid (HF), vars ånga är mycket irriterande för hud och luftvägar och skadlig för människors hälsa.

Korrosivitet

Vätefluorid och vissa fluorider är mycket frätande och kan orsaka allvarliga skador på hud, ögon och luftvägar.

Brandfarlighet

Vissa fluorider är brandfarliga och reagerar med syre eller vatten i luften för att frigöra intensiv värme och giftiga gaser, vilket kan orsaka brand eller explosion.

Risk för högt tryck

Vissa fluorerade gaser är explosiva under högt tryck och kräver särskild försiktighet vid användning och lagring.

Påverkan på miljön

Fluorhaltiga gaser har hög atmosfärisk livslängd och GWP-värden, vilket har en destruktiv effekt på det atmosfäriska ozonskiktet och kan orsaka global uppvärmning och miljöföroreningar.

Användningen av gaser inom framväxande områden som elektronik fortsätter att fördjupas, vilket medför en stor ny efterfrågan på industrigaser. Baserat på den stora mängden ny produktionskapacitet för viktiga elektroniska komponenter som halvledare och bildskärmar i Kina under de närmaste åren, samt den starka efterfrågan på importsubstitution av elektroniska kemiska material, kommer den inhemska elektronikgasindustrin att inleda en hög tillväxttakt.