Användning av volfram hexafluorid (WF6)

Tungsten hexafluorid (WF6) deponeras på ytan av skivan genom en CVD -process, fyller metallkonnectiongravarna och bildar metallkonnection mellan lager.

Låt oss prata om plasma först. Plasma är en form av materia som huvudsakligen består av fria elektroner och laddade joner. Det finns allmänt i universum och betraktas ofta som det fjärde materiet. Det kallas plasmatillståndet, även kallad ”plasma”. Plasma har hög elektrisk konduktivitet och har en stark kopplingseffekt med elektromagnetiska fält. Det är en delvis joniserad gas, sammansatt av elektroner, joner, fria radikaler, neutrala partiklar och fotoner. Själva plasma är en elektriskt neutral blandning som innehåller fysiskt och kemiskt aktiva partiklar.

Den enkla förklaringen är att under verkan av hög energi kommer molekylen att övervinna van der Waals -kraft, kemisk bindningskraft och Coulomb -kraft och presentera en form av neutral elektricitet som helhet. Samtidigt övervinner den höga energin som tilldelas utsidan ovanstående tre krafter. Funktion, elektroner och joner presenterar ett fritt tillstånd, som kan användas konstgjorda under modulering av ett magnetfält, såsom halvledarets etsningsprocess, CVD -process, PVD och IMP -process.

Vad är hög energi? I teorin kan både hög temperatur och högfrekvens RF användas. Generellt sett är hög temperatur nästan omöjlig att uppnå. Detta temperaturkrav är för högt och kan vara nära solens temperatur. Det är i princip omöjligt att uppnå i processen. Därför använder branschen vanligtvis högfrekvent RF för att uppnå den. Plasma RF kan nå så högt som 13MHz+.

Volfram hexafluorid plasaseras under verkan av ett elektriskt fält och sedan ång-avlägsnad av ett magnetfält. Watomer liknar vintergåsfjädrar och faller till marken under tyngdkraften. Långsamt avsätts W -atomer i genomhålen och fylls slutligen fullt genom hål för att bilda metallförbindelser. Förutom att avsätta W -atomer i genomhålen, kommer de också att deponeras på ytan på skivan? Ja, definitivt. Generellt sett kan du använda W-CMP-processen, vilket är vad vi kallar den mekaniska slipningsprocessen för att ta bort. Det liknar att använda en kvast för att svepa golvet efter tung snö. Snön på marken sopas bort, men snön i hålet på marken kommer att kvarstå. Ner, ungefär samma.