År 2018 nådde den globala marknaden för elektronisk gas för integrerade kretsar 4,512 miljarder USD, en ökning med 16 % jämfört med föregående år. Den höga tillväxttakten inom den elektroniska specialgasindustrin för halvledare och den enorma marknadsstorleken har accelererat den inhemska substitutionsplanen för elektronisk specialgas!
Vad är elektrongas?
Elektronisk gas avser det grundläggande källmaterial som används vid tillverkning av halvledare, platta bildskärmar, lysdioder, solceller och andra elektroniska produkter, och används ofta inom rengöring, etsning, filmbildning, dopning och andra processer. De huvudsakliga tillämpningsområdena för elektronisk gas inkluderar elektronikindustrin, solceller, mobilkommunikation, bilnavigering och billjud- och videosystem, flyg- och rymdindustrin, militärindustrin och många andra områden.
Elektronisk specialgas kan delas in i sju kategorier enligt sin kemiska sammansättning: kisel, arsenik, fosfor, bor, metallhydrid, halogenid och metallalkoxid. Beroende på olika tillämpningsmetoder i integrerade kretsar kan den delas in i dopningsgas, epitaxigas, jonimplantationsgas, lysdiodgas, etsningsgas, kemisk ångdeponeringsgas och balansgas. Det finns mer än 110 specialgasenheter som används inom halvledarindustrin, varav mer än 30 är vanliga.
Generellt sett delar halvledartillverkningsindustrin in gaser i två typer: vanliga gaser och specialgaser. Bland dessa avser den vanligt förekommande gasen en centraliserad tillförsel och använder mycket gas, såsom N2, H2, O2, Ar, He, etc. Specialgas avser vissa kemiska gaser som används i halvledartillverkningsprocessen, såsom extension, joninjektion, blandning, tvättning och maskbildning, vilket är vad vi nu kallar elektronisk specialgas, såsom högrent SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
I hela produktionsprocessen inom halvledarindustrin, från chiptillverkning till den slutliga förpackningen av enheter, är nästan varje länk oskiljaktig. Elektronisk specialgas, och den varierade gasanvändningen och de höga kvalitetskraven gör att elektronisk gas har halvledarmaterial. ”Livsmedel”.
Under senare år har Kinas stora elektroniska komponenter, såsom halvledare och bildskärmar, ökat i ny produktionskapacitet, och det finns en stark efterfrågan på importsubstitution av elektroniska kemiska material. Elektroniska gasers ställning inom halvledarindustrin har blivit alltmer framträdande. Den inhemska elektronikgasindustrin kommer att inleda en snabb tillväxt.
Elektronisk specialgas har mycket höga krav på renhet, eftersom om renheten inte uppfyller kraven kommer föroreningsgrupper som vattenånga och syre i den elektroniska specialgasen lätt att bilda en oxidfilm på halvledarytan, vilket påverkar livslängden för elektroniska apparater, och den elektroniska specialgasen innehåller föroreningspartiklar som kan orsaka kortslutningar och kretsskador hos halvledare. Man kan säga att förbättringen av renheten spelar en viktig roll för utbytet och prestandan vid produktion av elektroniska apparater.
Med den kontinuerliga utvecklingen av halvledarindustrin fortsätter chiptillverkningsprocessen att förbättras, och den har nu nått 5 nm, vilket är på väg att närma sig gränsen för Moores lag, vilket motsvarar en tjugondel av diametern på ett mänskligt hårstrå (cirka 0,1 mm). Detta ställer därför också högre krav på renheten hos den elektroniska specialgas som produceras av halvledare.
Publiceringstid: 15 december 2021
