Under 2018 nådde den globala elektroniska gasmarknaden för integrerade kretsar 4,512 miljarder dollar, en ökning från 16%från år till år. Den höga tillväxttakten för den elektroniska specialgasindustrin för halvledare och den enorma marknadsstorleken har påskyndat den inhemska ersättningsplanen för elektronisk specialgas!
Vad är elektrongas?
Elektronisk gas hänvisar till det grundläggande källmaterialet som används vid produktion av halvledare, plattpanelskärmar, ljusemitterande dioder, solceller och andra elektroniska produkter och används allmänt vid rengöring, etsning, filmbildning, doping och andra processer. De viktigaste applikationsområdena för elektronisk gas inkluderar elektronikindustrin, solceller, mobilkommunikation, bilnavigering och bil -ljud- och videosystem, flyg-, militärindustri och många andra områden.
Elektronisk specialgas kan delas in i sju kategorier enligt sin egen kemiska sammansättning: kisel, arsenik, fosfor, bor, metallhydrid, halogenid och metallalkoxid. Enligt olika appliceringsmetoder i integrerade kretsar kan den delas upp i dopningsgas, epitaxgas, jonimplantationsgas, ljusemitterande diodgas, etsningsgas, kemisk ångavsättningsgas och balansgas. Det finns mer än 110 enhets specialgaser som används i halvledarindustrin, varav mer än 30 används vanligtvis.
I allmänhet delar halvledarproduktionsindustrin gaser i två typer: vanliga gaser och specialgaser. Among them, the commonly used gas refers to a centralized supply and uses a lot of gas, such as N2, H2, O2, Ar, He, etc. Special gas refers to some chemical gases used in the process of semiconductor production, such as extension, ion injection, blending, washing, and mask formation, which is what we now call electronic special gas, such as high-purity SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, etc.
I hela produktionsprocessen för halvledarindustrin, från chiptillväxt till den slutliga enhetsförpackningen, är nästan varje länk oskiljbar från elektronisk specialgas, och de olika gaser som används och högkvalitativa krav, så elektronisk gas har halvledarmaterial. "Mat".
Under de senaste åren har Kinas stora elektroniska komponenter som halvledare och visningspaneler ökat i ny produktionskapacitet, och det finns en stark efterfrågan på importsubstitution av elektroniska kemiska material. Positionen för elektroniska gaser i halvledarindustrin har blivit allt framträdande. Den inhemska elektroniska gasindustrin kommer att inleda snabb tillväxt.
Elektronisk specialgas har mycket höga krav på renhet, eftersom om renheten inte är upp till kraven, kommer föroreningsgrupperna som vattenånga och syre i den elektroniska specialgasen lätt att bilda oxidfilm på ytan av halvledaren, vilket påverkar livslängden för elektroniska apparater, och den elektroniska specialgasen innehåller partiklaren av oroligheter orsakar halvledare och kretsar. Det kan sägas att förbättringen av renhet spelar en viktig roll i utbytet och prestandan för elektronisk enhetsproduktion.
Med den kontinuerliga utvecklingen av halvledarindustrin fortsätter chiptillverkningsprocessen att förbättras, och nu har den nått 5 nm, vilket är på väg att närma sig gränsen för Moores lag, vilket motsvarar en tjugonde av diametern på ett mänskligt hår (cirka 0,1 mm). Därför ställer detta också högre krav på renheten hos den elektroniska specialgas som produceras av halvledare.
Posttid: december-15-2021
