2018 nådde den globala marknaden för elektronisk gas för integrerade kretsar 4,512 miljarder USD, en ökning med 16 % jämfört med föregående år. Den höga tillväxttakten för den elektroniska specialgasindustrin för halvledare och den enorma marknadsstorleken har påskyndat den inhemska ersättningsplanen för elektronisk specialgas!
Vad är elektrongas?
Elektronisk gas hänvisar till det grundläggande källmaterialet som används vid tillverkning av halvledare, platta bildskärmar, lysdioder, solceller och andra elektroniska produkter, och används i stor utsträckning vid rengöring, etsning, filmbildning, dopning och andra processer. De huvudsakliga applikationsområdena för elektronisk gas inkluderar elektronikindustrin, solceller, mobilkommunikation, bilnavigering och billjud- och videosystem, flyg-, militärindustri och många andra områden.
Elektronisk specialgas kan delas in i sju kategorier efter sin egen kemiska sammansättning: kisel, arsenik, fosfor, bor, metallhydrid, halogenid och metallalkoxid. Enligt olika appliceringsmetoder i integrerade kretsar kan den delas in i dopningsgas, epitaxigas, jonimplantationsgas, lysdiodgas, etsgas, kemisk ångavsättningsgas och balansgas. Det finns mer än 110 enheter specialgaser som används i halvledarindustrin, varav mer än 30 är vanliga.
Generellt delar halvledarproduktionsindustrin in gaser i två typer: vanliga gaser och specialgaser. Bland dem avser den vanligen använda gasen en centraliserad försörjning och använder mycket gas, såsom N2, H2, O2, Ar, He, etc. Specialgas avser vissa kemiska gaser som används i processen för halvledarproduktion, som t.ex. förlängning, joninjektion, blandning, tvättning och maskbildning, vilket är vad vi nu kallar elektronisk specialgas, såsom högrenhet SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
I halvledarindustrins hela produktionsprocess, från chiptillväxt till den slutliga enhetsförpackningen, är nästan varje länk oskiljbar från elektronisk specialgas och mängden gas som används och höga kvalitetskrav, så elektronisk gas har halvledarmaterial. "Mat".
Under de senaste åren har Kinas stora elektroniska komponenter som halvledare och bildskärmspaneler ökat i ny produktionskapacitet, och det finns en stark efterfrågan på importsubstitution av elektroniska kemiska material. Elektroniska gasers ställning i halvledarindustrin har blivit allt mer framträdande. Den inhemska elektroniska gasindustrin kommer att inleda snabb tillväxt.
Elektronisk specialgas har mycket höga krav på renhet, för om renheten inte uppfyller kraven kommer föroreningsgrupperna som vattenånga och syre i den elektroniska specialgasen lätt att bilda oxidfilm på halvledarens yta, vilket påverkar livslängd för elektroniska enheter, och den elektroniska specialgasen innehåller Partiklarna av föroreningar kan orsaka halvledarkortslutningar och kretsskador. Det kan sägas att förbättringen av renheten spelar en viktig roll i utbytet och prestanda för produktion av elektroniska enheter.
Med den kontinuerliga utvecklingen av halvledarindustrin fortsätter chiptillverkningsprocessen att förbättras, och nu har den nått 5nm, vilket är på väg att närma sig gränsen för Moores lag, vilket motsvarar en tjugondel av diametern på ett människohår ( ca 0,1 mm). Därför ställer detta också högre krav på renheten hos den elektroniska specialgas som produceras av halvledare.
Posttid: 2021-15-15
