Vätekloridär en färglös gas med en skarp lukt. Dess vattenhaltiga lösning kallas saltsyra, även känd som saltsyra. Väteklorid är mycket löslig i vatten. Vid 0 ° C kan en volym vatten lösas upp cirka 500 volymer väteklorid.

Det har följande egenskaper och egenskaper:

1. Hög renhet

Renheten i elektronisk klassvätekloridär mycket hög, vanligtvis på PPM eller lägre nivå, för att säkerställa att inga föroreningar införs i halvledartillverkningsprocessen.

2. Inerthet

Det är en kemiskt inert gas som inte reagerar med många andra ämnen, vilket är mycket viktigt för att förhindra förorening av halvledarmaterial och utrustning.

3. Hög stabilitet

Elektronisk klassvätekloridI allmänhet har stabil kemi för att säkerställa tillförlitlig halvledarbehandling.

Vid halvledarbehandling inkluderar de viktigaste tillämpningarna av väteklorid av elektronisk kvalitet:

1. Ytrengöring och förberedelser

Som en effektiv ytrengörare, elektronisk klassvätekloridanvänds för att ta bort oxider och föroreningar från substratytan för att säkerställa kvaliteten och renheten på det epitaxiella skiktet eller filmen.

2.epitaxial tillväxthjälpmedel

Används som ytbehandlingsmedel i den epitaxiella processen, hjälper det till att förbättra kvaliteten på det epitaxiella skiktet, förbättra gittermatchning och minska bildningen av gitterfel.

3. Förbehandling av underlag

Innan beredningen av halvledarenheter, elektronisk klassvätekloridkan användas för att behandla substratytan för att bilda en stabil bas för att förbättra vidhäftningen mellan det epitaxiella skiktet och underlaget.

4. Deposition Auxiliary Agent

I processen med kemisk ångavsättning (CVD) eller fysisk ångavsättning (PVD) kan elektronisk väteklorid användas som ett gasfasöverföringsmedium för att delta i avsättningsreaktionen av halvledarmaterial.

5. Gasfasöverföringsmedlem

Som ett gasfasöverföringsmedel införs andra gasformiga föregångare i reaktionskammaren för att hjälpa till att justera de avsättningshastigheten och enhetligheten hos materialet.

Dessa egenskaper gör elektronisk kvalitetvätekloridEtt viktigt bearbetningsagent inom halvledarteknologi, som har en viktig inverkan på prestandan och tillförlitligheten för den slutliga enheten.

Förutom dess användning vid halvledarbearbetning kan väteklorid av elektronisk kvalitet hitta en mängd olika användningsområden i andra områden, inklusive: beredning av hög renhetsmaterial, bränsleceller, halvledarmaterialtillväxt, ångfas litografi, materialanalys, kemisk forskning.

I allmänhet elektronisk klassvätekloridär en mångsidig gas med hög renhet som har ett brett utbud av applikationer utanför halvledartillverkningen.