Vätekloridär en färglös gas med en stickande lukt. Dess vattenlösning kallas saltsyra, även känd som saltsyra. Väteklorid är mycket löslig i vatten. Vid 0 °C kan 1 volym vatten lösa upp cirka 500 volymer väteklorid.

Den har följande egenskaper och kännetecken:

1. Hög renhet

Renheten hos elektronisk kvalitetvätekloridär mycket hög, vanligtvis vid ppm eller lägre nivå, för att säkerställa att inga föroreningar introduceras i halvledartillverkningsprocessen.

2. Tröghet

Det är en kemiskt inert gas som inte reagerar med många andra ämnen, vilket är mycket viktigt för att förhindra kontaminering av halvledarmaterial och utrustning.

3. Hög stabilitet

Elektronisk betygvätekloridhar generellt stabil kemi för att säkerställa tillförlitlig halvledarbearbetning.

Inom halvledarbearbetning inkluderar de huvudsakliga tillämpningarna av väteklorid av elektronisk kvalitet:

1. Ytrengöring och förberedelse

Som en effektiv ytrengörare, elektronisk kvalitetvätekloridanvänds för att avlägsna oxider och föroreningar från substratytan för att säkerställa kvaliteten och renheten hos det epitaxiella lagret eller filmen.

2. Epitaxiellt tillväxthjälpmedel

Används som ytbehandlingsmedel i den epitaxiella processen, hjälper det till att förbättra kvaliteten på det epitaxiella lagret, förbättra gittermatchningen och minska bildandet av gitterdefekter.

3. Förbehandling av substrat

Före beredning av halvledarkomponenter, elektronisk kvalitetvätekloridkan användas för att behandla substratytan för att bilda en stabil bas för att förbättra vidhäftningen mellan det epitaxiella lagret och substratet.

4. Avsättningshjälpmedel

I processen med kemisk ångdeponering (CVD) eller fysisk ångdeponering (PVD) kan väteklorid av elektronisk kvalitet användas som ett gasfasöverföringsmedium för att delta i avsättningsreaktionen av halvledarmaterial.

5. Gasfasöverföringsmedel

Som ett gasfasöverföringsmedel införs andra gasformiga prekursorer i reaktionskammaren för att justera avsättningshastigheten och materialets enhetlighet.

Dessa egenskaper gör elektronisk sortvätekloridett viktigt bearbetningsmedel inom halvledarteknik, vilket har en avgörande inverkan på den slutliga enhetens prestanda och tillförlitlighet.

Förutom användningen inom halvledarbearbetning kan väteklorid av elektronisk kvalitet hitta en mängd olika användningsområden inom andra områden, inklusive: framställning av högrena material, bränsleceller, tillväxt av halvledarmaterial, ångfaslitografi, materialanalys och kemisk forskning.

I allmänhet, elektronisk kvalitetvätekloridär en mångsidig gas med hög renhet som har ett brett användningsområde utanför halvledartillverkning.