Lasergas

Lasergas används huvudsakligen för laserglödgning och litografisk gas inom elektronikindustrin. Genom att dra nytta av innovationen inom mobiltelefonskärmar och utvidgningen av tillämpningsområden kommer marknaden för lågtemperatur-polysilikon att utökas ytterligare, och laserglödgningsprocessen har avsevärt förbättrat prestandan hos TFT:er. Bland de neon-, fluor- och argongaser som används i ArF-excimerlasern för tillverkning av halvledare står neon för mer än 96 % av lasergasblandningen. Med förfiningen av halvledartekniken har användningen av excimerlasrar ökat, och införandet av dubbelexponeringsteknik har lett till en kraftig ökning av efterfrågan på neongas som förbrukas av ArF-excimerlasrar. Genom att dra nytta av främjandet av lokaliseringen av elektroniska specialgaser kommer inhemska tillverkare att ha ett bättre marknadstillväxtutrymme i framtiden.

Litografimaskinen är kärnutrustningen inom halvledartillverkning. Litografi definierar transistorernas storlek. Den samordnade utvecklingen av litografiindustrin är nyckeln till genombrottet för litografimaskiner. Matchande halvledarmaterial som fotoresist, fotolitografigas, fotomasker samt beläggnings- och framkallningsutrustning har ett högt teknologiskt innehåll. Litografigas är den gas som litografimaskinen genererar med djup ultraviolett laser. Olika litografigaser kan producera ljuskällor med olika våglängder, och deras våglängd påverkar direkt upplösningen hos litografimaskinen, som är en av kärnorna i litografimaskinen. År 2020 kommer den totala globala försäljningen av litografimaskiner att vara 413 enheter, varav ASML-försäljningen stod för 62 %, Canon-försäljningen stod för 122 enheter för 30 % och Nikon-försäljningen stod för 33 enheter för 8 %.