Lasergas

Lasergas används främst för laserglödgning och litografigas inom elektronikindustrin. Genom att dra nytta av innovationen av mobiltelefonskärmar och utvidgningen av applikationsområden kommer omfattningen av lågtemperaturpolykiselmarknaden att utökas ytterligare, och laserglödgningsprocessen har avsevärt förbättrat prestandan för TFT:er. Bland neon-, fluor- och argongaserna som används i ArF-excimerlasern för tillverkning av halvledare, står neon för mer än 96 % av lasergasblandningen. Med förfining av halvledarteknik har användningen av excimerlasrar ökat, och införandet av dubbelexponeringsteknik har lett till en kraftig ökning av efterfrågan på neongas som förbrukas av ArF excimerlasrar. Genom att främja lokaliseringen av elektroniska specialgaser kommer inhemska tillverkare att få ett bättre marknadstillväxtutrymme i framtiden.

Litografimaskin är kärnutrustningen för halvledartillverkning. Litografi definierar storleken på transistorer. Den samordnade utvecklingen av litografiindustrins kedja är nyckeln till litografimaskinens genombrott. De matchande halvledarmaterialen som fotoresist, fotolitografigas, fotomask och beläggnings- och framkallningsutrustning har högt tekniskt innehåll. Litografigas är den gas som litografimaskinen genererar djup ultraviolett laser. Olika litografigaser kan producera ljuskällor med olika våglängder, och deras våglängd påverkar direkt litografimaskinens upplösning, som är en av kärnorna i litografimaskinen. År 2020 kommer den totala globala försäljningen av litografimaskiner att vara 413 enheter, varav ASML-försäljningen 258 enheter stod för 62 %, Canons försäljning 122 enheter stod för 30 % och Nikon-försäljningen 33 enheter stod för 8 %.