Bortriklorid (BCl3)är en oorganisk förening som vanligtvis används i torretsning och kemisk ångdeponering (CVD) inom halvledartillverkning. Det är en färglös gas med en stark, stickande lukt vid rumstemperatur och är känslig för fuktig luft eftersom den hydrolyseras för att producera saltsyra och borsyra.

Användningsområden för bortriklorid

Inom halvledarindustrin,Bortrikloridanvänds huvudsakligen för torretsning av aluminium och som dopmedel för att bilda P-typregioner på kiselskivor. Det kan också användas för att etsa material som GaAs, Si, AlN, och som borkälla i vissa specifika tillämpningar. Dessutom används bortriklorid i stor utsträckning inom metallbearbetning, glasindustrin, kemisk analys och laboratorieforskning.

Säkerhet för bortriklorid

Bortrikloridär frätande och giftigt och kan orsaka allvarliga skador på ögon och hud. Det hydrolyseras i fuktig luft och frigör giftig vätekloridgas. Därför måste lämpliga säkerhetsåtgärder vidtas vid hantering.Bortriklorid, inklusive att bära skyddskläder, skyddsglasögon och andningsskydd, och att arbeta i en välventilerad miljö.