Bor Trichloride (BCL3)är en oorganisk förening som vanligtvis används vid torr etsning och kemisk ångavsättning (CVD) -processer i halvledartillverkning. Det är en färglös gas med en stark skarp lukt vid rumstemperatur och är känslig för fuktig luft eftersom den hydrolyserar för att producera saltsyra och borsyra.

Applikationer av borriklorid

I halvledarindustrin,Borrtikloridanvänds huvudsakligen för torr etsning av aluminium och som en dopant för att bilda p-typregioner på kiselskivor. Det kan också användas för att etsa material såsom GaAs, SI, ALN och som en borkälla i vissa specifika applikationer. Dessutom används Boron Trichloride i stor utsträckning inom metallbearbetning, glasindustri, kemisk analys och laboratorieforskning.

Boron triklorid

Borrtikloridär frätande och giftig och kan orsaka allvarliga skador på ögonen och huden. Den hydrolyserar i fuktig luft för att frigöra toxisk vätekloridgas. Därför måste lämpliga säkerhetsåtgärder vidtas vid hanteringBorrtiklorid, inklusive att bära skyddskläder, skyddsglasögon och andningsskyddsutrustning och arbeta i en väl ventilerad miljö.